Passat လောင်စာဘုံရထားလမ်းဖိအားအာရုံခံကိရိယာ 06e906051k

1 ။ ပါ 0 င်သောဖိအားအာရုံခံကိရိယာကိုဖွဲ့စည်းရန်နည်းလမ်းတစ်ခု -

ပထမဆုံး interlayer dieulric အလွှာနှင့်ဒုတိယ interlayer dielectric layer ကိုပထမ ဦး ဆုံး interlayer dielectric အလွှာနှင့်ဒုတိယ interlayer dielectric layer ကိုဖွဲ့စည်းထားသော Semiconductor Semiconductor အလွှာကိုထောက်ပံ့ပေးသည်။

ပထမ ဦး ဆုံး interlayer dielectric layer အတွက်အနိမ့်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်ပြား, အနိမ့်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်ကဲ့သို့တူညီသောအပြန်အလှန်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပထမ ဦး ဆုံးအပြန်အလှန်လျှပ်ကူးပစ္စည်း။

အလွှာများကိုချိတ်ဆက်ခြင်း,

အောက်ပိုင်းဝင်ရိုးစွန်းပန်းကန်အထက် sumenrenial အလွှာဖွဲ့စည်း;

ပထမ ဦး ဆုံး interconnection layer နှင့် sumanrenial layer အပေါ်ပထမ ဦး ဆုံး interlayer dielectric အလွှာအပေါ်အထက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်ဖွဲ့စည်းခြင်း;

ယဇ်ပူဇော်ခြင်းအလွှာကိုဖွဲ့စည်းပြီးနှင့်အထက်ပန်းကန်ကိုဖွဲ့စည်းခြင်းမပြုမီ, ပထမ ဦး ဆုံး Interconnection layer တွင်

connection groove ကိုဖွဲ့စည်းခြင်းနှင့်ဆက်သွယ်မှု groove ဖြည့်စွက်ခြင်းဖြင့်ပထမဆုံးဆက်သွယ်မှုအလွှာနှင့်လျှပ်ကူးဆက်သွယ်ရန်အထက်ပန်းကန်များနှင့်ပြည့်နှက်ခြင်း, သို့မဟုတ်,

အထက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်ပြားကိုဖွဲ့စည်းပြီးနောက် Groove များကို Electrope Plate နှင့်ပထမဆုံးဆက်သွယ်မှုအလွှာတွင်ဖွဲ့စည်းထားသည်

အထက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်ပြားကိုချိတ်ဆက်ထားသည့် plateger-layer တစ်ခုဖွဲ့စည်းခြင်းနှင့်ဆက်သွယ်မှု Groove တွင်ပထမဆုံးဆက်သွယ်မှုအလွှာကိုချိတ်ဆက်ခြင်း,

လျှပ်စစ်ဓာတ်အားပြတ်တောက်ပြီးနောက်အထက်ပိုင်းပန်းကန်နှင့်ပထမဆက်သွယ်မှုအလွှာကိုချိတ်ဆက်ပြီးနောက်ယဇ်ပူဇော်ခြင်းအလွှာကိုလိုင်တစ်ခုပြုလုပ်ရန်။

2 ။ ဖိအားအာရုံခံကိရိယာတစ်ခုဖွဲ့စည်းရန်နည်းလမ်းကို 1 တောင်းဆိုမှု 1,

interlayer dielectric အလွှာပေါ်ရှိယဇ်ပူဇော်ခြင်းအလွှာကိုဖွဲ့စည်းရန်နည်းလမ်းမှာအောက်ပါအဆင့်များပါ 0 င်သည်။

ပထမ ဦး ဆုံး interlayer dielectric အလွှာအပေါ်ယဇ်ပူဇော်သောပစ္စည်းအလွှာကိုအပ်နှံခြင်း,

ယဇ်ပူဇော်သောပစ္စည်းအလွှာကို posternial layer ကို please လုပ်ပါ။

3 ။ တောင်းဆိုချက် 2 အရဖိအားအာရုံခံကိရိယာကိုဖွဲ့စည်းရန်နည်းလမ်းမှာ 2,

အဆိုပါ sumanrenial ပစ္စည်းအလွှာကို actling လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့်ပုံစံဖြစ်ပါတယ်။

4 ။ တောင်းဆိုချက် 3 အရဖိအားအာရုံခံကိရိယာကိုဖွဲ့စည်းရန်နည်းလမ်းမှာအကောင်းဆုံးသောအလွှာဖြစ်သည်

အဆိုပါပစ္စည်း amorphous ကာဗွန်သို့မဟုတ်ဂျာမေiumဖြစ်ပါတယ်။

5 ။ တောင်းဆိုမှုအာရုံခံကိရိယာတစ်ခုအရဖိအားအာရုံခံကိရိယာကိုဖွဲ့စည်းရန်နည်းလမ်းမှာအကောင်းဆုံးသောအလွှာဖြစ်သည်

ပစ္စည်းသည်အဟန့်အတားဖြစ်နေသည်။

ယဇ်ပူဇော်ခြင်းကိုစွဲကိုင်ထားသည့်လုပ်ငန်းစဉ်တွင်အသုံးပြုသောဓာတ်ငွေ့များမှာ O2, CO, N2 နှင့် AR တို့ပါဝင်သည်။

possenial သုံးပစ္စည်းများအလွှာကိုစွဲစွဲမြဲမြဲနေရန် parameters များမှာ - O2 ၏စီးဆင်းမှုနှုန်းမှာ STRITAL သည် SCCM ~ 22 sccm ဖြစ်ပြီး CO ၏စီးဆင်းမှုနှုန်းမှာ 10% ဖြစ်သည်။

စီးဆင်းမှုနှုန်းသည် SCCM မှ 90 SCCM မှ SCCM မှ SCCM မှ SCCM မှ 90 SCCM မှ SCCM နှင့် AR ၏စီးဆင်းမှုနှုန်းမှာစီးဆင်းမှုနှုန်းမှာရှိသည်။

အကွာအဝေးမှာ 90 SCCM ~ 110 sccm, ဖိအားအကွာအဝေးမှာ 90 Mtor ~ 110 Mtor ဖြစ်ပြီးဘက်လိုက်မှုစွမ်းအားသည်

540w ~ 660w ။