Passat လောင်စာဆီဘုံရထားလမ်းဖိအားအာရုံခံကိရိယာ 06E906051K နှင့်သက်ဆိုင်သည်။

1. ပါဝင်သော ဖိအားအာရုံခံကိရိယာဖွဲ့စည်းပုံနည်းလမ်း၊

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအလွှာကို ပံ့ပိုးပေးခြင်း၊ ပထမအလွှာ ဒိုင်လျှပ်စစ်အလွှာ၊ ပထမအလွှာ ဒိုင်လျှပ်စစ်အလွှာနှင့် ဒုတိယကြားလွှာ ဒိုင်လျှပ်စစ်အလွှာတို့ကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း အလွှာပေါ်တွင် ဖွဲ့စည်းထားသည်။

ပထမ interlayer dielectric အလွှာရှိ အောက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်၊ အောက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်နှင့် တူညီသောအလွှာပေါ်တွင် တည်ရှိသော ပထမ အပြန်အလှန်လျှပ်ကူးပစ္စည်းတစ်ခုနှင့် ခြားနားစွာ ခြားထားသည်။

အလွှာချိတ်ဆက်ခြင်း;

အောက်ဝင်ရိုးစွန်းပန်းကန်အထက်တွင် ယဇ်ပူဇော်သောအလွှာတစ်ခုဖွဲ့စည်း;

ပထမဦးဆုံး interlayer dielectric အလွှာ၊ ပထမအပြန်အလှန်ဆက်သွယ်မှုအလွှာနှင့် sacrificial အလွှာတွင် အပေါ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်ပြားကိုဖွဲ့စည်းခြင်း၊

ယဇ်ပူဇော်ခြင်းအလွှာကိုဖွဲ့စည်းပြီးနောက်နှင့်အထက်ပန်းကန်မဖွဲ့စည်းမီ, ပထမတစ်ခုအပြန်အလှန်ဆက်သွယ်မှုအလွှာ၌

ချိတ်ဆက်မှု groove တစ်ခုဖွဲ့စည်းကာ ပထမချိတ်ဆက်မှုအလွှာနှင့် လျှပ်စစ်ဖြင့်ချိတ်ဆက်ရန်အတွက် အပေါ်ပြားဖြင့် ချိတ်ဆက်မှု groove ကိုဖြည့်ပါ။ သို့မဟုတ်၊

အပေါ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်ကိုဖွဲ့စည်းပြီးနောက်၊ ချိတ်ဆက်ထားသော grooves များကိုအပေါ်ဘက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပန်းကန်နှင့်ပထမအပြန်အလှန်ဆက်သွယ်မှုအလွှာတွင်ဖွဲ့စည်းသည်။

အပေါ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပြားနှင့် ချိတ်ဆက်မှု groove ရှိ ပထမအလွှာကို ဆက်သွယ်ပေးသည့် လျှပ်ကူးပစ္စည်းအလွှာကို ဖွဲ့စည်းခြင်း၊

အပေါ်ပြားနှင့် ပထမချိတ်ဆက်မှုအလွှာကို လျှပ်စစ်ဖြင့် ချိတ်ဆက်ပြီးနောက် စွန့်ထုတ်သည့်အလွှာကို ကလိုင်တစ်ခုဖွဲ့စည်းရန် ဖယ်ရှားပါ။

2. ပထမအလွှာရှိ တိုင်ကြားချက် 1 အရ ဖိအားအာရုံခံကိရိယာဖွဲ့စည်းပုံနည်းလမ်း

interlayer dielectric အလွှာတွင် ယဇ်ပူဇော်သောအလွှာကို ဖွဲ့စည်းရန် နည်းလမ်းသည် အောက်ပါအဆင့်များ ပါဝင်သည်။

ပထမ interlayer dielectric အလွှာတွင် ယဇ်ပူဇော်သောပစ္စည်းအလွှာကို အပ်နှံခြင်း၊

ယဇ်ပူဇော်ပစ္စည်းအလွှာကို ယဇ်ပူဇော်သည့်အလွှာအဖြစ် ပုံစံဖော်သည်။

3. တိုင်ကြားချက် 2 အရ ဖိအားအာရုံခံကိရိယာဖွဲ့စည်းပုံနည်းလမ်းကို photolithography နှင့် ထွင်းထုခြင်းကိုအသုံးပြုသည်။

ယဇ်ပူဇော်သောပစ္စည်းအလွှာကို ထွင်းထုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် ပုံဖော်ထားသည်။

4. အရေးဆိုမှု 3 အရ ဖိအားအာရုံခံကိရိယာဖွဲ့စည်းပုံနည်းလမ်း၊ ယဇ်ပူဇော်သောအလွှာ

ပစ္စည်းမှာ amorphous carbon သို့မဟုတ် germanium ဖြစ်သည်။

5. အရေးဆိုမှု 4 အရ ဖိအားအာရုံခံကိရိယာဖွဲ့စည်းပုံနည်းလမ်း၊ ယဇ်ပူဇော်သောအလွှာ

ပစ္စည်းသည် amorphous ကာဗွန်ဖြစ်သည်။

စွန့်ထုတ်ပစ္စည်း အလွှာကို ထွင်းထုခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုသော သတ္တုစပ်ဓာတ်ငွေ့များသည် O2၊ CO, N2 နှင့် Ar တို့ ပါဝင်သည်။

ယဇ်ပူဇော်ပစ္စည်းအလွှာကို ထွင်းထုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ကန့်သတ်ချက်များမှာ- O2 ၏ စီးဆင်းမှုအကွာအဝေးမှာ 18 SCCM ~ 22 SCCM ဖြစ်ပြီး CO ၏ စီးဆင်းမှုနှုန်းမှာ 10% ဖြစ်သည်။

စီးဆင်းမှုနှုန်းသည် 90 SCCM မှ 110 SCCM၊ N2 ၏ စီးဆင်းမှုနှုန်းသည် 90 SCCM မှ 110 SCCM နှင့် Ar ၏ စီးဆင်းမှုနှုန်းတို့ဖြစ်သည်။

အကွာအဝေးသည် 90 SCCM ~ 110 SCCM၊ ဖိအားအကွာအဝေးသည် 90 mtor ~ 110 mtor ဖြစ်ပြီး၊ ဘက်လိုက်စွမ်းအားသည်

540w မှ 660w